Microscopic mechanical elements suitable for manufacture of
microelectromechanical systems (MEMS) are directly prepared by forming a
low-relief base of microscopic dimensions on a substrate surface by any
conventional means, and electrodepositing a metal preferentially on the
upper surface of the base to produce a vertically-extending 3-dimensional
structure. In a first step, the patterned substrate and a counterelectrode
are contacted with an electrolyte and an electric current is passed
between the substrate and counterelectrode, with the substrate being
predominantly cathodic with respect the counterelectrode. In a first step
the electrolytic environment at the substrate surface is maintained as a
microprofile, whereby metal is deposited preferentially at the upper edge
or tip of the base until the structure has been increased in height, and,
in a second step, the electrolytic environment at the substrate surface is
maintained as a macroprofile to continue the deposition of metal at the
upper edge or tip of the structure until the desired relief is obtained.
Os elementos mecânicos microscópicos apropriados para a manufatura dos sistemas microelectromechanical (MEMS) são preparados diretamente dando forma a uma base do baixo-relevo de dimensões microscópicas em uma superfície da carcaça por todos os meios convencionais, e electrodepositing um metal preferentially na superfície superior da base para produzir uma estrutura 3-dimensional vertical-estendendo. Em uma primeira etapa, a carcaça modelada e um counterelectrode são contatados com um eletrólito e uma corrente elétrica é passada entre a carcaça e o counterelectrode, com a carcaça que é predominantly cathodic com respeito o counterelectrode. Em uma primeira etapa o ambiente eletrolítico na superfície da carcaça é mantido como um microprofile, por meio de que o metal é depositado preferentially na borda superior ou a ponta da base até que a estrutura esteja aumentada na altura, e, em uma segunda etapa, o ambiente eletrolítico na superfície da carcaça estão mantidos como um macroprofile para continuar o deposition do metal na borda ou na ponta superior da estrutura até que o relevo desejado esteja obtido.
