In a first aspect, a valve/sensor assembly is provided that includes a door assembly. The door assembly has (1) a first position adapted to seal an opening of a chamber; (2) a second position adapted to allow at least a blade of a substrate handler to extend through the opening of the chamber; and (3) a mounting mechanism adapted to couple the door assembly to the chamber. The valve/sensor assembly also includes a sensor system having a transmitter and a receiver adapted to detect a presence of a substrate and to communicate through at least a portion of the door assembly. Systems, methods and computer program products are provided in accordance with this and other aspects.

Dans un premier aspect, un valve/sensor est à condition que inclue une porte. La porte a (1) une première position adaptée pour sceller une ouverture d'une chambre ; (2) une deuxième position s'est adaptée pour permettre au moins à une lame d'un traiteur de substrat d'avancer à travers l'ouverture de la chambre ; et (3) un mécanisme de support s'est adapté pour coupler la porte à la chambre. Le valve/sensor inclut également un système de sonde faisant adapter un émetteur et un récepteur pour détecter une présence d'un substrat et pour communiquer par au moins une partie de la porte. Des produits de systèmes, de méthodes et de programme machine sont fournis selon ceci et d'autres modes.