The present invention provides a manufacturing environment (210) for a
wafer fab, and an SPDA data environment (212) for acquiring processing
parameters and metrology data of production runs. A computation
environment (214) processes the SPDA data to prepare delta graphs (536,
540 and 542) of the present invention. These delta graphs are then
analyzed in an analysis environment (216). An MES environment (218)
evaluates the analysis and executes a process intervention if the results
of the analysis indicate processing or product quality problems in the
process run of the manufacturing environment (210). Additionally, the
invention provides for SPDA delta graphs of SPC control charts as well as
SPC techniques utilizing process control limits based on delta graphs to
identify, analyze and trouble-shoot semiconductor processing problems, in
order to improve equipment reliability and wafer yield. The present
invention also provides a process (700) for computer integrated equipment
time states including a service procedures module (755) linked to
preventive maintenance time states (735 and 742) and to a repair time
state (731).
La présente invention fournit un environnement de fabrication (210) pour un fab de gaufrette, et un environnement de données de SPDA (212) pour acquérir des paramètres et des données de traitement de métrologie des cadences de production. Un environnement de calcul (214) traite les données de SPDA pour préparer les graphiques de delta (536, 540 et 542) de la présente invention. Ces graphiques de delta sont alors analysés dans un environnement d'analyse (216). Un environnement de MES (218) évalue l'analyse et exécute une intervention de processus si les résultats de l'analyse indiquent des problèmes de qualité de traitement ou de produit dans la course de processus de l'environnement de fabrication (210). En plus, l'invention prévoit des graphiques de delta de SPDA des diagrammes de commande de SPC aussi bien que des techniques de SPC utilisant des limites de contrôle du processus de cycle basées sur des graphiques de delta pour identifier, analyser et dépanner des problèmes de traitement de semi-conducteur, afin d'améliorer la fiabilité d'équipement et le rendement de gaufrette. La présente invention fournit également un processus (700) pour les états intégrés par ordinateur de temps d'équipement comprenant un module de procédures de service (755) lié aux états de temps d'entretien préventif (735 et 742) et à un état de temps de réparation (731).
