In one embodiment, a MEMS apparatus having a MEMS array including a plurality of MEMS devices is provided. In some embodiments, each of the plurality of MEMS devices includes a movable structure and a second structure. In addition, in some embodiments, a plurality of signal sources are coupled to the plurality of MEMS devices so as to be capable of supplying actuation signals for actuating the movable structure to impact the second structure. Further, in some embodiments, at least one processor is coupled to the plurality of signal sources to control the actuation signals, and is configured such that each of the plurality of MEMS devices is provided with a corresponding custom actuation signal.

Em uma incorporação, um instrumento de MEMS que tem uma disposição de MEMS including um plurality de dispositivos de MEMS é fornecido. Em algumas incorporações, cada um do plurality de dispositivos de MEMS inclui uma estrutura móvel e uma segunda estrutura. Além, em algumas incorporações, um plurality de fontes do sinal é acoplado ao plurality de dispositivos de MEMS para ser capaz de fornecer sinais da atuação para atuar a estrutura móvel para impactar a segunda estrutura. Mais mais, em algumas incorporações, ao menos um processador é acoplado ao plurality de fontes do sinal para controlar os sinais da atuação, e configurarado tais que cada um do plurality de dispositivos de MEMS está fornecido com um sinal feito sob encomenda correspondente da atuação.