A cartridge (10) includes a chuck plate (12) for receiving a wafer (74) and a probe plate (14) for establishing electrical contact with the wafer. In use, a mechanical connecting device (90) locks the chuck plate and the probe plate fixed relative to one another to maintain alignment of the wafer and the probe plate. Preferably, electrical contact with the wafer is established using a probe card (50) that is movably mounted to the probe plate by means of a plurality of leaf springs (52.) The mechanical connecting device is preferably a kinematic coupling including a male connector (94) and first and second opposed jaws (122, 124.) Each of the jaws is pivotable from a retracted position in which the male connector can be inserted between the jaws and an engaging position in which the jaws prevent withdrawal of the male connector from between the jaws. The male connector is movable between an extended and a retracted position, and is biased towards the retracted position. This provides a positive clamping force that pulls the chuck and probe plates together when the mechanical connecting device is engaged. To load a wafer into the cartridge, the wafer is placed on the chuck plate, the probe plate is aligned with the wafer, and the chuck plate and the probe plate are locked together. The cartridge can then be removed from the alignment device and placed in a burn-in or test chamber that does not itself require means for aligning the wafer or for providing a probe actuation force.

Μια κασέτα (10) περιλαμβάνει ένα πιάτο τσοκ (12) για τη λήψη μιας γκοφρέτας (74) και ένα πιάτο ελέγχων (14) για την καθιέρωση της ηλεκτρικής επαφής με την γκοφρέτα. Σε χρήση, μια μηχανική συνδέοντας συσκευή (90) κλειδώνει το πιάτο τσοκ και το πιάτο ελέγχων που καθορίζονται σχετικά με το ένα άλλο για να διατηρήσει την ευθυγράμμιση της γκοφρέτας και του πιάτου ελέγχων. Κατά προτίμηση, η ηλεκτρική επαφή με την γκοφρέτα καθιερώνεται χρησιμοποιώντας μια κάρτα ελέγχων (50) που τοποθετείται movably στο πιάτο ελέγχων με τη βοήθεια μιας πολλαπλότητας των ελατηρίων φύλλων (52.) που η μηχανική συνδέοντας συσκευή είναι κατά προτίμηση μια κινηματική σύζευξη συμπεριλαμβανομένου ενός αρσενικού συνδετήρα (94) και πρώτα και των δεύτερων αντιταγμένων σαγονιών (122, 124) Κάθε ένα από τα σαγόνια είναι pivotable από μια αποσυμένη θέση στην οποία ο αρσενικός συνδετήρας μπορεί να παρεμβληθεί μεταξύ των σαγονιών και μιας θέσης δέσμευσης στα οποία τα σαγόνια αποτρέπουν την απόσυρση του αρσενικού συνδετήρα από μεταξύ τα σαγόνια. Ο αρσενικός συνδετήρας είναι κινητός μεταξύ μιας εκτεταμένης και αποσυμένης θέσης, και είναι προκατειλημμένος προς την αποσυμένη θέση. Αυτό παρέχει μια θετική δύναμη στερέωσης που τραβά τα πιάτα τσοκ και ελέγχων μαζί όταν δεσμεύεται η μηχανική συνδέοντας συσκευή. Για να φορτώσει μια γκοφρέτα στην κασέτα, η γκοφρέτα τοποθετείται στο πιάτο τσοκ, το πιάτο ελέγχων ευθυγραμμίζεται με την γκοφρέτα, και το πιάτο τσοκ και το πιάτο ελέγχων είναι κλειδωμένα από κοινού. Η κασέτα μπορεί έπειτα να αφαιρεθεί από τη συσκευή ευθυγράμμισης και να τοποθετηθεί σε μια αίθουσα καψίματος ή δοκιμής που ο ίδιος δεν απαιτεί τα μέσα για την γκοφρέτα ή για την παροχή μιας δύναμης ώθησης ελέγχων.