A method is provided for the manufacture of micro-structures, such as micro-electromechanical structures (MEMS) or silicon optical benches (SiOB). The method includes using a single mask to pattern two or more cavity areas to be etched into a substrate in different etching steps, and then selectively choosing the cavity areas for etching. In a preferred embodiment, the method includes patterning a substrate to identify a plurality of cavity areas to be etched into the substrate and filling at least one of the cavity areas with a distinctive filler material. Filler material is chemically distinctive in the sense that it can be etched selectively with respect to the other filling materials. At least one of the cavity areas containing a distinctive filler material is then chosen based at least in part on the distinctive filler material. The chosen cavity area is then etched. The methods of the invention produce micro-structures with more accurate cavity areas by minimizing overlay error and avoiding the need for lithography over extreme topography. The micro-structures manufactured by the methods of the invention are also provided herein.

Μια μέθοδος παρέχεται για την κατασκευή των μικροδομών, όπως οι micro-electromechanical δομές (MEMS) ή οι οπτικοί πάγκοι πυριτίου (SiOB). Η μέθοδος περιλαμβάνει τη χρησιμοποίηση μιας ενιαίας μάσκας στις περιοχές περισσότερη κοιλοτήτων σχεδίων δύο ή που χαράζονται σε ένα υπόστρωμα στα διαφορετικά στάδια χαρακτικής, και έπειτα επιλεκτικά την επιλογή των περιοχών κοιλοτήτων για τη χαρακτική. Σε μια προτιμημένη ενσωμάτωση, η μέθοδος περιλαμβάνει τη διαμόρφωση ενός υποστρώματος για να προσδιορίσει μια πολλαπλότητα των περιοχών κοιλοτήτων που χαράζονται στο υπόστρωμα και την πλήρωση τουλάχιστον μιας από τις περιοχές κοιλοτήτων με ένα διακριτικό υλικό υλικών πληρώσεως. Το υλικό υλικών πληρώσεως είναι χημικά διακριτικό υπό την έννοια ότι μπορεί να χαραχτεί επιλεκτικά όσον αφορά τα άλλα υλικά πλήρωσης. Τουλάχιστον μια από τις περιοχές κοιλοτήτων που περιέχουν ένα διακριτικό υλικό υλικών πληρώσεως επιλέγεται έπειτα βασισμένος τουλάχιστον εν μέρει στο διακριτικό υλικό υλικών πληρώσεως. Η επιλεγμένη περιοχή κοιλοτήτων χαράζεται έπειτα. Οι μέθοδοι της εφεύρεσης παράγουν τις μικροδομές με τις ακριβέστερες περιοχές κοιλοτήτων με την ελαχιστοποίηση του λάθους επικαλύψεων και την αποφυγή της ανάγκης για τη λιθογραφία πέρα από την ακραία τοπογραφία. Οι μικροδομές που κατασκευάζονται με τις μεθόδους της εφεύρεσης παρέχονται επίσης εν τω παρόντι.