A thickness measuring system comprises: an eddy current loss measuring sensor having an exciting coil for receiving a high frequency current to excite a high frequency magnetic field to excite an eddy current in a conductive film, and a receiving coil for outputting the high frequency current which is influenced by an eddy current loss caused by the eddy current; an impedance analyzer for measuring the variation in impedance of the eddy current loss measuring sensor, the variation in current value of the high frequency current or the variation in phase of the high frequency current on the basis of the high frequency current outputted from the receiving coil; an optical displacement sensor for measuring the distance between the conductive film and the eddy current loss measuring sensor; and a control computer including a thickness calculating part for calculating the thickness of the conductive film on the basis of various measured results of the impedance analyzer and optical displacement sensor, and the eddy current loss measuring sensor further has a ferrite member surrounding the exciting coil and the ferrite member has an opening in the bottom surface portion thereof for allowing the exciting coil to be exposed.

Ein Stärke messendes System enthält: ein messender Sensor des Wirbelstromverlustes, der eine aufregende Spule für das Empfangen eines Hochfrequenzstromes, um ein Hochfrequenzmagnetisches aufzuregen hat, fangen auf, um einen Wirbelstrom in einem leitenden Film und eine empfangende Spule für das Ausgeben des Hochfrequenzstromes aufzuregen, welches durch einen Wirbelstromverlust beeinflußt wird, der durch den Wirbelstrom verursacht wird; ein Widerstandanalysator für das Messen der Veränderung des Widerstands des messenden Sensors des Wirbelstromverlustes, der Veränderung des gegenwärtigen Wertes vom Hochfrequenzgegenwärtigen oder der Veränderung der Phase des Hochfrequenzstromes auf der Grundlage von den Hochfrequenzstrom outputted von der empfangenden Spule; ein optischer Versetzung Sensor für das Messen des Abstandes zwischen dem leitenden Film und dem messenden Sensor des Wirbelstromverlustes; und ein Steuercomputer einschließlich ein Stärke Rechenteil für die Berechnung der Stärke des leitenden Filmes aufgrund von verschiedenen gemessenen Resultaten des Widerstandanalysators und optische der Versetzung Sensor und der messende Sensor des Wirbelstromverlustes hat weiter ein Ferritmitglied, die aufregende Spule zu umgeben und das Ferritmitglied hat eine Öffnung im Grundflächeteil davon für das Erlauben, daß die aufregende Spule herausgestellt wird.