An exposure device with a lamp, a condenser arrangement (2), a light
modulator, a field lens and a projection objective (5), characterised in
that the light modulator consists of a reflecting micro-mirror arrangement
(3) in front of which the field lens (4) is arranged in a manner such that
the beam path runs through the field lens (4) onto the micro-mirror
arrangement (3) and after modulation and reflection at acute angles (16)
once again runs through the field lens (4).
Μια συσκευή έκθεσης με έναν λαμπτήρα, μια ρύθμιση συμπυκνωτών (2), έναν ελαφρύ διαμορφωτή, έναν φακό τομέων και έναν στόχο προβολής (5), που χαρακτηρίζονται δεδομένου ότι ο ελαφρύς διαμορφωτής αποτελείται από μια απεικονίζοντας ρύθμιση μικροϋπολογιστής-καθρεφτών (3) μπροστά από την οποία ο φακός τομέων (4) τακτοποιείται με έναν τρόπο έτσι ώστε τα τρεξίματα πορειών ακτίνων μέσω του φακού τομέων (4) επάνω στη ρύθμιση μικροϋπολογιστής-καθρεφτών (3) και μετά από τη διαμόρφωση και την αντανάκλαση στα οξέα τρεξίματα γωνιών (16) άλλη μια φορά μέσω του φακού τομέων (4).