A method and apparatus are described for remote semiconductor microscopy whereby video signals are broadcast from one or more microscopes to remote viewers. A live video signal is broadcast from the microscope over a network to remote personal computers located in the offices of process engineers. The office-based process engineers are provided real-time, or substantially real-time, views of a wafer, including peripheral views of the wafer outside cell array boundaries. The process engineer, in his office, can direct a technician, operating the microscope in the clean room complex, to display a desired cell region-of-interest with the microscope. As a result, the process engineers can more efficiently collaborate to solve process problems or even develop new process techniques.

Een methode en een apparaat worden beschreven voor de verre halfgeleidermicroscopie waardoor de videosignalen uitzending van één of meerdere microscopen aan verre kijkers zijn. Een levend videosignaal is uitzending van de microscoop over een netwerk aan verre personal computers die in de bureaus van procesingenieurs worden gevestigd. De op bureau-gebaseerde procesingenieurs zijn verstrekte real time, of wezenlijk in real time, meningen van een wafeltje, met inbegrip van randmeningen van het wafeltje buiten de grenzen van de celserie. De procesingenieur, in zijn bureau, kan een technicus leiden, die de microscoop in de schone complexe ruimte in werking stelt, om een gewenste cel gebied-van-rente met de microscoop te tonen. Dientengevolge, kunnen de procesingenieurs efficiënter samenwerken om procesproblemen op te lossen of zelfs nieuwe procestechnieken te ontwikkelen.