In one implementation, a method for operating a plurality of MEMS devices including applying a magnitude of a selected actuation signal equal to a first substantially constant magnitude to an actuator to cause a movable structure to begin to accelerate from a first position to impact a motion stop at a second position. The method also includes decreasing the magnitude of the selected actuation signal in a first manner. The method further includes varying at least one of a start time and a duration of the decreasing magnitude of the selected actuation signal and observing a settling time of the movable structure in response to the step of varying. In some implementations, the method includes ascertaining a range of values for the start times and the corresponding durations for each of the plurality of MEMS devices that are capable of providing settling times of the movable structure in conformance with a predetermined specification based on the steps of varying and observing. Such an implementation can include using the ascertained range of values for each device and the selected actuation signal for determining an operating start time and a corresponding operating duration to construct an operating actuation signal capable of providing a settling time for all devices in conformance with the predetermined specification. The method also can include controlling a signal source with a programmed processor to selectively apply the operating actuation signal to the plurality of MEMS devices.

Dans une exécution, une méthode pour actionner une pluralité de dispositifs de MEMS comprenant appliquer une importance d'un signal choisi de mise en action égal à une première grandeur essentiellement constante à un déclencheur pour faire commencer une structure mobile accélèrent d'une première position pour effectuer un arrêt de mouvement à une deuxième position. La méthode inclut également diminuer l'importance du signal choisi de mise en action d'une première façon. La méthode autre inclut changer au moins un d'une heure de départ et d'une durée de l'importance décroissante du signal choisi de mise en action et observer un temps de stabilisation de la structure mobile en réponse à l'étape de changer. Dans quelques réalisations, la méthode inclut s'assurer une gamme des valeurs pendant les heures de départ et les durées correspondantes pour chacune de la pluralité de dispositifs de MEMS qui sont capables de fournir à des temps de stabilisation de la structure mobile dans la conformité des spécifications prédéterminées basées sur les étapes de changer et d'observer. Une telle exécution peut inclure en utilisant la gamme assurée des valeurs pour chaque dispositif et le signal choisi de mise en action pour déterminer une heure de départ de fonctionnement et une durée de fonctionnement correspondante de construire un signal de fonctionnement de mise en action capable de fournir à un temps de stabilisation pour tous les dispositifs dans la conformité les spécifications prédéterminées. La méthode peut également inclure commander une source de signal avec un processeur programmé pour appliquer sélectivement le signal de fonctionnement de mise en action à la pluralité de dispositifs de MEMS.