An excimer or molecular fluorine laser system includes a laser tube filled with a gas mixture including fluorine and a buffer gas, and multiple electrodes within the laser tube connected with a pulsed discharge circuit for energizing the gas mixture. At least one of the electrodes is longer than 28 inches in length, preferably two main electrodes are each extended to greater than 28 inches in length. The laser system further includes a resonator including the laser tube for generating a pulsed laser beam having a desired energy. The laser system is configured such that an output beam would be emitted having an energy below the desired energy if each of the electrodes were 28 inches in length or less, and the laser system outputs a beam at the desired energy due to the length of the electrodes being extended to a length greater than 28 inches.

Un excimer ou un système moléculaire de laser de fluor inclut un tube de laser rempli de mélange de gaz comprenant le fluor et un gaz d'amortisseur, et les électrodes multiples dans le tube de laser lié à une décharge pulsée circuitent pour activer le mélange de gaz. Au moins une des électrodes est plus longue que 28 pouces de longueur, de préférence deux électrodes principales chacune sont prolongés à 28 pouces plus grands que de longueur. Le système de laser autre inclut un résonateur comprenant le tube de laser pour produire d'un rayon laser pulsé ayant une énergie désirée. Le système de laser est configuré tels qu'un faisceau de rendement serait émis en ayant une énergie au-dessous de l'énergie désirée si chacune des électrodes était de 28 pouces dans la longueur ou moins, et des sorties de système de laser un faisceau à l'énergie désirée due à la longueur des électrodes étant prolongées pouces plus grands que d'une longueur à 28.