A micromechanical electrical systems (MEMS) metallic micromachined multiple
ported electrical switch receivable on the die of an integrated circuit
and within the integrated circuit package for controlling radio frequency
signal paths among a plurality of switch-enabled different path choices.
The switch provides desirably small signal losses in both the switch open
and switch closed conditions. The switch is primarily of the single pole
multiple throw mechanical type with possible use as a single input pole,
multiple output poles device and provision for grounding open nodes in the
interest of limiting capacitance coupling across the switch in its open
condition. Cantilever beam switch element suspension is included along
with normally open and normally closed switch embodiments, electrostatic
switch actuation and signal coupling through the closed switch by way of
increased inter electrode capacitance coupling. Switch operation from
direct current to a frequency above ten gigahertz is accommodated.
Os sistemas elétricos micromechanical (MEMS) metálicos micromachined o interruptor elétrico movido múltiplo receivable no dado de um circuito integrado e dentro do pacote do circuito integrado para trajetos do sinal controlando da freqüência de rádio entre um plurality de escolhas diferentes interruptor-permitidas do trajeto. O interruptor fornece perdas desejàvel pequenas do sinal em ambos o interruptor aberto e circunstâncias fechadas interruptor. O interruptor é primeiramente do tipo mecânico do único throw múltiplo do pólo com uso possível como um único pólo da entrada, um dispositivo múltiplo dos pólos da saída e uma provisão para nós abertos aterrando no interesse de limitar o acoplamento da capacidade através do interruptor em suas condições abertas. A suspensão cantilever do elemento do interruptor de feixe é incluída junto com incorporações normalmente abertas e normalmente closed do interruptor, a atuação eletrostática do interruptor e o acoplamento do sinal através do interruptor closed por o acoplamento inter aumentado da capacidade do elétrodo. A operação do interruptor da corrente direta a uma freqüência acima de dez gigahertz é acomodada.
