The present invention relates to illuminating an interior portion of a processing chamber in a semiconductor processing system. A fiber optic light source is operatively associated with the processing chamber to illuminate the interior of the chamber to facilitate viewing the interior of the chamber.

De onderhavige uitvinding heeft op het verlichten van een binnenlands gedeelte van een verwerkingskamer betrekking in een systeem van de halfgeleiderverwerking. Een vezel optische lichtbron wordt doeltreffend geassocieerd met de verwerkingskamer om het binnenland van de kamer te verlichten om het bekijken van het binnenland van de kamer te vergemakkelijken.