Thin films for use as dielectric in semiconductor and other devices are prepared from silica zeolites, preferably pure silica zeolites such as pure-silica MFI. The films have low k values, generally below about 2.7, ranging downwards to k values below 2.2. The films have relatively uniform pore distribution, good mechanical strength and adhesion, are relatively little affected by moisture, and are thermally stable. The films may be produced from a starting zeolite synthesis or precursor composition containing a silica source and an organic zeolite structure-directing agent such as a quaternary ammonium hydroxide. In one process the films are produced from the synthesis composition by in-situ crystallization on a substrate. In another process, the films are produced by spin-coating, either through production of a suspension of zeolite crystals followed by redispersion or by using an excess of the alkanol produced in preparing the synthesis composition. Zeolite films having patterned surfaces may also be produced.

As películas finas para o uso como o dielétrico no semicondutor e nos outros dispositivos são preparadas dos zeolites do silicone, zeolites preferivelmente puros do silicone tais como o puro-silicone MFI. As películas têm valores baixos de k, geralmente abaixo de aproximadamente 2.7, variando para baixo aos valores de k abaixo de 2.2. As películas têm a distribuição relativamente uniforme do pore, a força mecânica boa e a adesão, são relativamente pouco afetadas pela umidade, e são tèrmica estábulo. As películas podem ser produzidas de uma composição começando da síntese ou do precursor do zeolite que contem uma fonte do silicone e um agente dedireção do zeolite orgânico tal como um hydroxide de ammonium quaternary. Em um processo as películas são produzidas da composição da síntese pela cristalização in-situ em uma carcaça. Em um outro processo, as películas são produzidas gir-revestindo, com a produção de uma suspensão dos cristais do zeolite seguidos pelo redispersion ou usando um excesso do alkanol produzido em preparar a composição da síntese. As películas do zeolite que modelam superfícies podem também ser produzidas.