An integrated mesopump-sensor suitable for disposition in two- and
three-dimensional arrays having small dimensions is disclosed. One
mesopump is formed of an electrostatically attractable flexible diaphragm
disposed through cavities or pumping chambers formed between two opposing
electrostatically chargeable material layers. Fluid is pumped through the
chambers by sequentially moving the diaphragm toward the first chargeable
layer, then towards the second chargeable layer, which can pull and push
the fluid through a series of chambers, and past the sensor. One group of
sensors utilizes multiple and varied chemoresistive sensors which can vary
in resistance differently in response to the presence of various analytes.
Another group of sensors utilizes chemo-fluorescent sensors that fluoresce
in the presence of particular analytes. Some mesopump-sensor systems can
be manufactured using MEMS technology and can be coupled to controllers
for sequencing the pumps and analyzing sensor outputs using methods
including Principle Component Analysis.
Ένας ενσωματωμένος μεσοπuμπ-αισθητήρας κατάλληλος για τη διάθεση σε δύο - και οι τρισδιάστατες σειρές που έχουν τις μικρές διαστάσεις αποκαλύπτονται. Ένα mesopump διαμορφώνεται ενός electrostatically προσελκύσιμου εύκαμπτου διαφράγματος που διατίθεται μέσω των κοιλοτήτων ή των αντλώντας αιθουσών που διαμορφώνονται μεταξύ δύο αντιτιθέμενος electrostatically τα φορολογήσιμα υλικά στρώματα. Το ρευστό αντλείται μέσω των αιθουσών με διαδοχικά να κινήσει το διάφραγμα προς το πρώτο φορολογήσιμο στρώμα, κατόπιν προς το δεύτερο φορολογήσιμο στρώμα, το οποίο μπορεί να τραβήξει και να ωθήσει το ρευστό μέσω μιας σειράς αιθουσών, και μετά από τον αισθητήρα. Μια ομάδα αισθητήρων χρησιμοποιεί τους πολλαπλάσιους και ποικίλους chemoresistive αισθητήρες που μπορούν να ποικίλουν στην αντίσταση διαφορετικά σε απάντηση στην παρουσία διάφορων καταλοίπων. Μια άλλη ομάδα αισθητήρων χρησιμοποιεί τους θχεμο-φθορισμού αισθητήρες που φθορίζουν παρουσία των ιδιαίτερων καταλοίπων. Μερικά συστήματα μεσοπuμπ-αισθητήρων μπορούν να κατασκευαστούν χρησιμοποιώντας την τεχνολογία MEMS και μπορούν να συνδεθούν με τους ελεγκτές για την αλληλοuχία των αντλιών και την ανάλυση των αποτελεσμάτων αισθητήρων χρησιμοποιώντας τις μεθόδους συμπεριλαμβανομένης της ανάλυσης τμημάτων αρχής.