A molecular fluorine (F.sub.2) laser system includes a seed oscillator and power amplifier. The seed oscillator includes a laser tube including multiple electrodes therein which are connected to a discharge circuit. The laser tube is part of an optical resonator for generating a laser beam including a first line of multiple characteristic emission lines around 157 nm. The laser tube is filled with a gas mixture including molecular fluorine and a buffer gas. A low pressure seed radiation generating gas lamp is alternatively used. The gas mixture is at a pressure below that which results in the generation of a laser emission including the first line around 157 nm having a natural linewidth of less than 0.5 pm. The power amplifier amplifies the power of the beam emitted by the seed oscillator to a desired power for applications processing.

Un système moléculaire de laser du fluor (F.sub.2) inclut un oscillateur de graine et un amplificateur de puissance. L'oscillateur de graine inclut un tube de laser comprenant les électrodes multiples là-dedans qui sont reliées à un circuit de décharge. Le tube de laser fait partie d'un résonateur optique pour produire d'un rayon laser comprenant une première ligne des lignes d'émission caractéristiques multiples autour de 157 nm. Le tube de laser est rempli de mélange de gaz comprenant le fluor moléculaire et un gaz d'amortisseur. Un rayonnement de graine de basse pression produisant de la lampe de gaz est alternativement employé. Le mélange de gaz est à une pression au-dessous de cela qui a comme conséquence la génération d'une émission de laser comprenant la première ligne autour de 157 nm ayant une largeur des raies normale de moins de 0.5 P.M.. L'amplificateur de puissance amplifie la puissance du faisceau émis par l'oscillateur de graine à une puissance désirée pour le traitement d'applications.