A system having a high efficiency of operation to determine a design rule and thus requiring lesser time needed in determining the design rule, is provided by automating the process of determining the design rule. The system comprises an automatic L/S pattern generation part automatically generating a L/S pattern defined by a line width and space width, an optical simulation part performing an optical simulation based on the L/S pattern and a finish prediction part in which the dimension (finished size) of a pattern formed on a resist is predicted based on the result of the optical simulation. Also included is a L/S matrix database construction part in which a L/S matrix is made based on the finish prediction result, and also constructs the data used in making the L/S matrix, as a database, and a design rule generation part generating a design rule from the L/S matrix.

Ένα σύστημα που έχει μια υψηλή αποδοτικότητα της λειτουργίας για να καθορίσει έναν κανόνα σχεδίου και που απαιτεί έτσι το μικρότερο χρόνο που απαιτείται στον καθορισμό του κανόνα σχεδίου, παρέχεται με την αυτοματοποίηση της διαδικασίας τον κανόνα σχεδίου. Το σύστημα περιλαμβάνει ένα αυτόματο μέρος παραγωγής σχεδίων L/S που παράγει αυτόματα ένα σχέδιο L/S που καθορίζεται από ένα πλάτος γραμμών και το διαστημικό πλάτος, ένα οπτικό μέρος προσομοίωσης που εκτελούν μια οπτική προσομοίωση βασισμένη στο σχέδιο L/S και ένα μέρος πρόβλεψης τέρματος στα οποία η διάσταση (τελειωμένο μέγεθος) ενός σχεδίου που διαμορφώνεται αντιστέκεται προβλέπονται βασισμένος στο αποτέλεσμα της οπτικής προσομοίωσης. Επίσης περιλαμβάνεται ένα μέρος κατασκευής βάσεων δεδομένων μητρών L/S στο οποίο μια μήτρα L/S γίνεται βασισμένη στο αποτέλεσμα πρόβλεψης τέρματος, και κατασκευάζει επίσης τα στοιχεία που χρησιμοποιούνται στην παραγωγή της μήτρας L/S, ως βάση δεδομένων, και ένα μέρος παραγωγής κανόνα σχεδίου που παράγει έναν κανόνα σχεδίου από τη μήτρα L/S.