The invention relates to a micromechanical structures that include movable elements. In particular the invention relates to an arrangement for coupling such movable elements to other structures of a microelectromechanical system (MEMS). The invention is characterized in that the arrangement comprises at least one coupling means (930-936) for coupling the movable element to the fixed structure, and at least one flexible means (980, 990-996) for allowing different thermal expansion between the movable element and the other structure in the direction which is substantially perpendicular to the characteristic movement of the movable element, wherein said coupling means and/or flexible means is reinforced in the direction of the characteristic movement of the movable element.

De uitvinding brengt met micromechanical structuren met elkaar in verband die beweegbare elementen omvatten. In het bijzonder heeft de uitvinding op een regeling voor het koppelen van dergelijke beweegbare elementen aan andere structuren van een microelectromechanical systeem (MEMS) betrekking. De uitvinding wordt gekenmerkt in die zin dat de regeling minstens uit één koppelingsmiddel (930-936) voor het koppelen van het beweegbare element aan de vaste structuur bestaat, en minstens één flexibel middel (980, 990-996) voor het toestaan van verschillende thermische uitbreiding tussen het beweegbare element en de andere structuur in de richting die aan de kenmerkende beweging van het beweegbare element wezenlijk loodrecht is, waarin de bovengenoemde koppeling betekent en/of het flexibele middel in de richting van de kenmerkende beweging van het beweegbare element wordt versterkt.