An apparatus and method for detecting and marking delamination defects on
thin film disks are disclosed. The apparatus includes a read/write (R/W)
head and a burnishing head mounted on separate arms that access the disk
while spinning on the test stand. The controller uses the R/W head to
perform an initial magnetic test of selected areas on the disk to
establish an initial defect map. The burnish head is then flown over the
surface for an extended time to accelerate and open up the latent
delamination defects by impacting protruding material. The R/W head is
then used to perform a second magnetic test which is compared against the
first test to identify the delamination defects which have been developed
by the burnishing. The delamination defects are then marked with a
magnetic pattern which aids in optically locating the defect during
subsequent failure analysis.
Un aparato y un método para detectar y marcar defectos de la delaminación en discos de la película fina se divulgan. El aparato incluye una cabeza de lectura/grabación (R/W) y una cabeza de pulimento montadas en los brazos separados que tienen acceso al disco mientras que hacen girar en el banco de prueba. El regulador utiliza la cabeza de R/W para realizar una prueba magnética inicial de áreas seleccionadas en el disco para establecer un mapa inicial del defecto. La cabeza del bruñido entonces se vuela sobre la superficie por un tiempo extendido acelera y abre los defectos latentes de la delaminación afectando el material que resalta. La cabeza de R/W entonces se utiliza para realizar una segunda prueba magnética que se compare contra la primera prueba para identificar los defectos de la delaminación que han sido desarrollados por el pulimento. Los defectos de la delaminación entonces están marcados con un patrón magnético que ayude en ópticamente el localización del defecto durante análisis subsecuente de la falta.