Wafers are sequentially loaded, exposed, and unloaded. When a wafer exposed or being exposed is to be recovered in a carrier in a predetermined case, a storage section stores information for specifying the slot of the carrier in which the recovered wafer is stored and information associated with the wafer in correspondence with each other. When the wafer recovered is the first wafer recovered in the lot to which the wafer belongs, and a wafer is already present in the carrier, a new carrier is set in place of the wafer in accordance with an output, and the wafer is recovered in the new carrier.

Le cialde in sequenza sono caricate, esposte e sono scaricate. Quando una cialda esposta o che è esposta deve essere recuperata in un elemento portante in un caso predeterminato, una sezione di immagazzinaggio memorizza le informazioni per specificare la scanalatura dell'elemento portante in cui la cialda recuperata è immagazzinata e le informazioni connesse con la cialda nella corrispondenza con a vicenda. Quando la cialda recuperata è la prima cialda recuperata nel lotto a cui la cialda appartiene e una cialda è già presente nell'elemento portante, un nuovo elemento portante è regolato al posto della cialda in conformità con un'uscita e la cialda è recuperata nel nuovo elemento portante.