A synthetic quartz glass to be used for light with a wavelength of from 150 to 200 nm, wherein the OH group concentration is at most 100 ppm, the hydrogen molecule concentration is at most 1.times.10.sup.17 molecules/cm.sup.3, reduction type defects are at most 1.times.10.sup.15 defects/cm.sup.3, and the relation between .DELTA.k.sub.163 and .DELTA.k.sub.190, as between before and after irradiation of ultraviolet rays, satisfies 0<.DELTA.k.sub.163 <.DELTA.k.sub.190, and a process for its production.

Een synthetisch kwartsglas dat voor licht met een golflengte van van 150 tot 200 NM moet worden gebruikt, waarin de OH groepsconcentratie hoogstens de meeste 100 p.p.m. is, de concentratie van de waterstofmolecule is hoogstens meeste molecules 1.times.10.sup.17/het cm.sup.3, verminderingstype zijn de tekorten hoogstens meeste tekorten 1.times.10.sup.15/het cm.sup.3, en relatie tussen DELTA.k.sub.163 en DELTA.k.sub.190, zoals tussen vóór en na straling van ultraviolet stelt de stralen, 0 tevreden