A procedure is described to calibrate an optical converter, especially for use in the field of reflectrometric interference spectroscopy. The converter has a layer/substrate system with a layer and a substrate. A light beam shines from the substrate side, and parts of it are reflected or transmitted at the interfaces of air/substrate, substrate/layer and layer/air. The converter in particular serves to convert the light beam into a modulated (especially frequency modulated or phase modulated) signal. The light is varied within a wavelength or frequency range from which a corresponding modulated spectrum is determined. In particular, it is assumed that the performance quantities of especially the converter and a radiation source generating the light are subject to temporal fluctuations. The calibration is carried out in particular by determining reference values of the modulated spectrum at time t=0, successively determining values of the modulated spectrum for times t>0, and calculating temporal changes in the modulated spectrum for t>0 using in particular a linear disturbance equation based on the assumed infinitisimal changes in at least one of the performance quantities so the interference spectroscopy measuring setup.

Un procédé est décrit pour calibrer un convertisseur optique, particulièrement pour l'usage dans le domaine de la spectroscopie reflectrometric d'interférence. Le convertisseur a un système de layer/substrate avec une couche et un substrat. Un faisceau lumineux brille du côté de substrat, et des parties de lui sont reflétées ou transmises aux interfaces d'air/substrate, de substrate/layer et de layer/air. Le convertisseur sert en particulier à convertir le faisceau lumineux en (particulièrement fréquence modulée ou phase modulée) signal modulé. La lumière est changée dans une longueur d'onde ou la gamme de fréquence dont une correspondance a modulé spectre est déterminée. En particulier, on le suppose que les quantités d'exécution particulièrement du convertisseur et une source de rayonnement produisant de la lumière sont sujettes à des fluctuations temporelles. Le calibrage est effectué en particulier en déterminant des valeurs de référence du spectre modulé à l'heure t=0, déterminant successivement des valeurs du spectre modulé pendant les périodes t 0, et des changements temporels calculateurs du spectre modulé pour t 0 en utilisant en particulier une équation linéaire de perturbation basée sur les changements infinitisimal assumés au moins d'une des quantités d'exécution ainsi l'installation de mesure de spectroscopie d'interférence.