An X-ray exposure apparatus operating in a vacuum or a reduced-pressure environment includes a mask, arranged in the vacuum or in the reduced-pressure environment, for holding a reflection X-ray mask having a mask pattern thereon, an X-ray illuminating system arranged so as to illuminate the reflection X-ray mask having the mask pattern thereon, relatively scanningly with X-rays, wherein the mask pattern being illuminated is transferred onto an object, and a cooling structure for cooling the X-ray mask held by the mask chuck.

Μια των ακτίνων X συσκευή έκθεσης που λειτουργεί σε ένα κενό ή reduced-pressure περιβάλλον περιλαμβάνει μια μάσκα, που τακτοποιείται στο κενό ή στο reduced-pressure περιβάλλον, για να κρατήσει μια των ακτίνων X μάσκα αντανάκλασης που έχει ένα σχέδιο μασκών επ'αυτού, ένα των ακτίνων X φωτίζοντας σύστημα που κανονίζεται ώστε να φωτιστεί η των ακτίνων X μάσκα αντανάκλασης που έχει το σχέδιο μασκών επ'αυτού, σχετικά scanningly με τις ακτίνες X, όπου το σχέδιο μασκών που φωτίζεται μεταφέρεται επάνω σε ένα αντικείμενο, και μια δροσίζοντας δομή για την ψύξη της των ακτίνων X μάσκας που κατέχει το τσοκ μασκών.