In a projection optical system having at least two silica glass optical members, a birefringence value is measured at each of points in a plane normal to the optical axis with the center at an intersection of each optical member with the optical axis, a distribution of signed birefringence values in each optical member is obtained by assigning a positive sign to each birefringence value when a direction of the fast axis thereof is a radial direction to the intersection with the optical axis and assigning a negative sign to each birefringence value when the direction of the fast axis thereof is normal to the radial direction, and the optical members are combined with each other so as to satisfy such a placement condition that a signed birefringence characteristic value of the entire projection optical system calculated based on the distributions of signed birefringence values is between -0.5 and +0.5 nm/cm both inclusive. This permits minimization of influence from nonuniform distribution of birefringence values in the optical members on the imaging performance of the projection optical system or on the resolution of projection exposure apparatus and in turn enables provision of the projection optical system with high imaging performance, a production method thereof, and the projection exposure apparatus capable of achieving high resolution.

В системе проекции оптически имея по крайней мере 2 члена кремнезема стеклянных оптически, значение birefringence измерено на каждом из пунктов в нормальном плоскости к оптически оси с центром на пересечении каждого оптически члена с оптически осью, распределение подписанных значений birefringence в каждом оптически члене получено путем задавать положительный знак к каждому значению birefringence когда направлением быстрой оси thereof будет радиальное направление к пересечению с оптически осью и задавать отрицательный знак к каждому значению birefringence когда направление быстрой оси thereof нормально к радиальному направлению, и оптически члены совмещены с собой так о удовлетворяйте такое условие размещения подписанное значение birefringence характерное всей проекции оптически, котор высчитанная система основала на распределениях подписанных значений birefringence между -0.5 и +0.5 nm/cm обоими включительными. Это позволяет минимизацию влияния от неединобразного распределения значений birefringence в оптически членах на представлении воображения системы проекции оптически или на разрешении прибора выдержки проекции и в свою очередь включает обеспечение системы проекции оптически с высоким представлением воображения, способа производства thereof, и прибором выдержки проекции способным достигать high resolution.