The invention provides a local probe measuring device for effecting local measurements refering to a sample, comprising a plurality of local probes for local measurements with respect to a sample or a reference surface, a measurement condition adjustment arrangement adapted to commonly adjust measurement conditions of said local probes with respect to the sample or the reference surface, a plurality of detection arrangements, each being associated or adapted to be associated to one particular of said local probes and adapted to independently detect measurement data refering to local measurements effected by said particular local probe. Further, methods for effecting local measurements and local manipulations by means of multiple local probes are provided.

Die Erfindung stellt ein lokale Prüfspitze Meßinstrument für das Bewirken der lokalen Maße zur Verfügung, die zu einer Probe refering sind und enthält eine Mehrzahl von den lokalen Prüfspitzen für lokale Maße in Bezug auf eine Probe oder eine Bezugsfläche, eine Maßzustand Justageanordnung, die angepaßt wird, um Maßzustände der besagten Einheimischprüfspitzen in Bezug auf die Probe oder die Bezugsfläche, eine Mehrzahl allgemein zu justieren der Abfragung Vorbereitungen, jedes, das verbunden ist oder, angepaßt ist zu einer Einzelheit der besagten lokalen Prüfspitzen verbunden zuSEIN und angepaßt zu werden, um Maßdaten unabhängig zu ermitteln, zu den lokalen Maßen refering, die, die durch lokale Prüfspitze der besagten Einzelheit erfolgt werden. Weiter werden Methoden für das Bewirken der lokalen Maße und der lokalen Handhabungen mittels Mehrfachverbindungsstelle der lokalen Prüfspitzen zur Verfügung gestellt.