A microelectricalmechanical system (MEMS) digital isolator may be created in which an actuator such as an electrostatic motor drives a beam against a predefined force set, for example, by another electrostatic motor. When the threshold of the opposing force is overcome, motion of the beam may be sensed by a sensor also attached to the beam. The beam itself is electrically isolated between the locations of the actuator and the sensor. The structure may be incorporated into integrated circuits to provide on-chip isolation.

On peut créer un isolant numérique microelectricalmechanical du système (MEMS) en lequel un déclencheur tel qu'un moteur électrostatique conduit un faisceau contre un ensemble prédéfini de force, par exemple, par un autre moteur électrostatique. Quand le seuil de la force d'opposition est surmonté, le mouvement du faisceau peut être senti par une sonde également attachée au faisceau. Le faisceau lui-même est électriquement isolé entre les endroits du déclencheur et la sonde. La structure peut être incorporée aux circuits intégrés pour fournir l'isolement de sur-morceau.