A substrate processing apparatus includes a rotation accommodating shelf and a transfer machine. The rotation accommodating shelf is capable of accommodating a plurality of accommodating containers in which substrates are to be loaded. The transfer machine is for transferring the plurality of accommodating containers to the rotation accommodating shelf. The plurality of accommodating containers are respectively disposed on radial lines, which radiate from a rotation center of the rotation accommodating shelf, such that each accommodating container is respectively inclined in a horizontal plane in a same fixed direction with respect to a radial line.

Un substrato che procede l'apparecchio include una mensola servizievole di rotazione e una macchina transfer. La mensola servizievole di rotazione è capace di accomodazione della pluralità di contenitori servizievoli in cui i substrati devono essere caricati. La macchina transfer è per il trasferimento della pluralità di contenitori servizievoli alla mensola servizievole di rotazione. La pluralità di contenitori servizievoli è disposta di rispettivamente sulle linee radiali, che si irradiano da un centro di rotazione della mensola servizievole di rotazione, tali che ogni contenitore servizievole è rispettivamente propenso in un piano orizzontale in uno stesso senso fisso riguardo ad una linea radiale.