A cascaded wafer scrubbing system and method are provided. The cascaded
wafer scrubbing system includes an array of rows of brush pairs. Each row
includes a plurality of counter-rotating brush pairs that are arranged
horizontally and longitudinally, and configured to receive and process a
wafer in a vertical orientation through wafer preparation zones defined by
each pair of brushes. Below and between the pairs of brushes is a track
that is configured to apply a rotation to the wafer and to transition the
wafer in a vertical orientation through the brush pairs. Nozzles dispense
fluids on and over the brush pairs, and the brush pairs are configured
such that fluids are dispensed through the brush pairs. Nozzles dispense a
curtain of fluid between each wafer preparation zone, and the cascaded
wafer scrubbing system is configured to progress from dirtiest to cleanest
as the wafer transitions through each wafer preparation zone.
Se proporcionan un sistema y un método que friegan conectados en cascada de la oblea. El sistema que friega conectado en cascada de la oblea incluye un arsenal de filas de los pares del cepillo. Cada fila incluye una pluralidad de pares del cepillo contador-que rotan que se arreglen horizontalmente y longitudinalmente, y configurado para recibir y para procesar una oblea en una orientación vertical con las zonas de la preparación de la oblea definidas por cada par de cepillos. Debajo y entre de los pares de cepillos está una pista que se configura para aplicar una rotación a la oblea y a la transición la oblea en una orientación vertical a través del cepillo se aparea. Los inyectores dispensan los líquidos en y sobre los pares del cepillo, y los pares del cepillo se configuran tales que los líquidos están dispensados con los pares del cepillo. Los inyectores dispensan una cortina del líquido entre cada zona de la preparación de la oblea, y el sistema que friega conectado en cascada de la oblea se configura para progresar de la más sucio a la más limpio mientras que las transiciones de la oblea en cada zona de la preparación de la oblea.
