A getter device is shaped like a substrate used in a deposition process.
Embodiments of the device include a powdered getter material coated onto
one or both sides of a support with a narrow rim portion left uncoated so
that the device can be manipulated by automatic handling equipment. A
method for using the getter device includes providing a vacuum chamber and
automatic handling equipment, loading the device into the chamber,
reducing the chamber pressure to a desired value by using the getter
device in conjunction with an external pump, removing the getter device
and replacing it with a substrate, and depositing a thin film on the
substrate. The getter device can be in an activated state when loaded into
the chamber, or it can be activated after being loaded by employing
heating equipment ordinarily used to heat substrates placed in the
chamber. The getter material of the device may also be activated in a
separate activation chamber before the getter device is loaded into the
vacuum chamber.
Приспособление геттера сформировано как субстрат используемый в процессе низложения. Воплощения приспособления вклюают напудренное coated геттера материальное на одно или обе стороны поддержки с узкой оправой разделывают левое uncoated так, что приспособление сможет быть манипулировано автоматическим регулируя оборудованием. Метод для использования приспособления геттера вклюает обеспечивать камеру вакуума и автоматическое регулируя оборудование, нагружающ приспособление в камеру, уменьшающ давление камеры к заданному значению путем использование приспособления геттера совместно с внешним насосом, извлекать приспособление геттера и заменять ть его с субстратом, и депозировать тонкую пленку на субстрате. Приспособление геттера может находиться в активированном положении после того как оно нагружано в камеру, или его можно активировать после быть нагруженным путем использовать оборудование топления обычно используемое для того чтобы нагреть субстраты помещенные в камере. Материал геттера приспособления может также быть активирован в отдельно камере активации прежде чем приспособление геттера нагружено в камеру вакуума.
