A method and an apparatus for fabricating a pressure-waveform sensor with a
leveling support element. One embodiment provides a pressure-waveform
sensor having a housing, a support element, and a piezoelectric element
having a first end secured between the support element and the housing,
and a second end in a cantilevered orientation. The support element and
the piezoelectric element together form a plurality of support regions to
level the piezoelectric element and relative to the housing. In some
embodiments, the support element includes a ring having three slots spaced
apart on one face of the ring, or one or more support regions formed with
a shim having a thickness equal to a thickness of the piezoelectric
device, or support regions that are integral to the support element.
Another aspect provides a method for fabricating a pressure-waveform
sensor. The method includes the steps of forming a housing structure with
an inner lip, and supporting a cantilevered piezoelectric element with a
support structure such that contact is made with the inner lip at a
plurality of points in order to level the piezoelectric element relative
to the inner lip.
Eine Methode und ein Apparat für das Fabrizieren eines Druck-Wellenform Sensors mit einem ebnenunterstützungselement. Eine Verkörperung liefert einen Druck-Wellenform Sensor, der ein Gehäuse, ein Unterstützungselement und ein piezoelektrisches Element hat ein erstes Ende hat, das zwischen dem Unterstützungselement und dem Gehäuse und einem zweiten Ende in einer freitragenden Lagebestimmung gesichert wird. Das Unterstützungselement und das piezoelektrische Element bilden eine zusammen Mehrzahl der Unterstützungsregionen, um das piezoelektrische Element zu ebnen und im Verhältnis zu dem Gehäuse. In einigen Verkörperungen schließt das Unterstützungselement einen Ring ein, der drei Schlitze haben, die auseinander auf einem Gesicht des Ringes gesperrt werden, oder einer oder mehr die Unterstützungsregionen, die mit einem Meßplättchen gebildet werden, das eine Stärke hat, die einer Stärke der piezoelektrischen Vorrichtung gleich ist, oder Unterstützungsregionen, die zum Unterstützungselement integral sind. Ein anderer Aspekt stellt eine Methode für das Fabrizieren eines Druck-Wellenform Sensors zur Verfügung. Die Methode schließt die Schritte der Formung einer Gehäusestruktur mit einer inneren Lippe ein, und ein freitragendes piezoelektrisches Element mit einer Unterstützung stützend, strukturieren Sie so, daß Kontakt mit der inneren Lippe an einer Mehrzahl der Punkte gebildet wird, um das piezoelektrische Element im Verhältnis zu der inneren Lippe zu ebnen.