A stepper for imaging integrated circuit and flat panel displays uses a thermoresist instead of photoresist and separates the mask into multiple masks, each one containing only part of the features which need to be imaged. The final image is generated by combining the images from all the masks on a single die taking advantage of the fact that thermal resists do not follow the reciprocity law. For maximum resolution each one of the multiple masks contains features of only one size.

Un passo passo per il circuito integrato di formazione immagine e le visualizzazioni a schermo piatto usa un thermoresist anziché photoresist e separa la mascherina nelle mascherine multiple, ogni che contiene soltanto la parte delle caratteristiche che devono essere imaged. L'immagine finale è generata unendo le immagini da tutte le mascherine su un singolo dado che approfitta del fatto a che il thermal resiste non segue la legge di reciprocità. Per risoluzione massima ogni delle mascherine multiple contiene le caratteristiche di soltanto un formato.