A variable optical attenuator, or VOA, includes a movable focusing mirror and an actuator integrated on a substrate or within a MEMS. The actuator moves the mirror within a range of motion to reflect, focus and steer a light beam. One embodiment further includes an input and an output photonic component, such as wave guides or optical fibers. The wave guides or optical fibers may have angled endfaces and be positioned to reduce the required operating range of motion of the mirror. The mirror may be a Fresnel mirror, a concave mirror, a diffractive mirror or a concave diffractive mirror. In certain embodiments the mirror is moved in at least two dimensions to steer the light beam to form a trajectory having at least two dimensions.

Un attenuatore ottico variabile, o VOA, include uno specchio di focalizzazione mobile e un azionatore integrati su un substrato o all'interno di un MEMS. L'azionatore sposta lo specchio all'interno di una gamma di movimento per riflettere, mettere a fuoco e dirigere un raggio di luce. Un incorporamento ulteriore include un input e un componente photonic dell'uscita, quali le guide dell'onda o le fibre ottiche. Le guide dell'onda o le fibre ottiche possono inclinare i endfaces ed essere posizionate per ridurre il raggio di azione richiesto di movimento dello specchio. Lo specchio può essere uno specchio del Fresnel, uno specchio concavo, uno specchio diffractive o uno specchio diffractive concavo. In determinati incorporamenti lo specchio è spostato in almeno due dimensioni per dirigere il raggio di luce per formare una traiettoria che ha almeno due dimensioni.