A pixel array device is fabricated by a laser micro-milling method under
strict process control conditions. The device has an array of pixels
bonded together with an adhesive filling the grooves between adjacent
pixels. The array is fabricated by moving a substrate relative to a laser
beam of predetermined intensity at a controlled, constant velocity along a
predetermined path defining a set of grooves between adjacent pixels so
that a predetermined laser flux per unit area is applied to the material,
and repeating the movement for a plurality of passes of the laser beam
until the grooves are ablated to a desired depth. The substrate is of an
ultrasonic transducer material in one example for fabrication of a 2D
ultrasonic phase array transducer. A substrate of phosphor material is
used to fabricate an X-ray focal plane array detector.
Eine Pixelreihe Vorrichtung wird durch eine Laser Mikro-Prägemethode unter strengen Prozeßsteuerung Bedingungen fabriziert. Die Vorrichtung hat eine Reihe Pixel, die zusammen mit einem Kleber abgebunden werden, der die Nuten zwischen angrenzenden Pixeln füllt. Die Reihe wird fabriziert, indem man ein Substrat im Verhältnis zu einem Laserstrahl der vorbestimmten Intensität an einer kontrollierten, konstanten Geschwindigkeit entlang einem vorbestimmten Weg verschiebt, der einen Satz Nuten zwischen angrenzenden Pixeln definiert, damit ein vorbestimmter Laser Fluß pro Maßeinheit Bereich am Material angewendet wird, und die Bewegung für eine Mehrzahl der Durchläufe des Laserstrahles, der wiederholt, bis die Nuten zu einer gewünschten Tiefe entfernt sind. Das Substrat ist von einem Ultraschallsignalumformermaterial in einem Beispiel für Herstellung eines 2D Ultraschallphase Reihe Signalumformers. Ein Substrat des Phosphormaterials wird benutzt, um einen fokalen flachen Detektor Reihe des Röntgenstrahls zu fabrizieren.