A tilt mirror Fabry-Perot tunable filter comprises a frame and a first mirror structure. A tether system connects the first mirror structure to this frame. The tether system is designed to enable the tilting of the first mirror structure relative to an optical axis, in addition to translation of the first mirror structure along the optical axis. A second mirror structure is further provided to define an optical cavity in combination with the first mirror structure. At least two drive electrodes are provided for electrostatically tilting and translating the first mirror structure. The resulting MEMS Fabry-Perot tunable filter is capable for hitless tuning. It can be tuned to between bands directly, i.e., without dropping intervening bands.

Un filtre réglable de Fabry-Perot de miroir d'inclinaison comporte une armature et une première structure de miroir. Un système d'attachement relie la première structure de miroir à cette armature. Le système d'attachement est conçu pour permettre l'inclinaison de la première structure de miroir relativement à un axe optique, en plus de la traduction de la première structure de miroir le long de l'axe optique. Une deuxième structure de miroir est encore fournie pour définir une cavité optique en combination avec la première structure de miroir. Au moins deux électrodes d'entraînement sont données pour électrostatiquement incliner et traduire la première structure de miroir. Le filtre réglable résultant de MEMS Fabry-Perot est capable pour l'accord hitless. Il peut être accordé à entre les bandes directement, c.-à-d., sans bandes intervenantes de chute.