A micro-electro-mechanical system (MEMS) actuator device is disclosed. The MEMS actuator device has an actuated element that is rotatably connected to a support structure via torsional members. The torsional members provide a restoring force to keep the actuated element planar to the surface of an underlying substrate. The surface of the substrate has electrodes formed thereon. The electrodes are adapted to receive an electrical potential. When an electrical potential is applied to certain of the electrodes, an electrostatic force is generated which causes the actuated element to rotate out of plane. The electrodes have three components. At least a portion of two of the components is within the tilting area of the actuated element. The third is outside the tilting area of the actuated element. The tilting area is defined as the surface area of the actuated element as projected onto the underlying substrate.

Eine Mikro--electro-mechanische System (MEMS) Auslöservorrichtung wird freigegeben. Die MEMS Auslöservorrichtung hat ein betätigtes Element, das drehbar an eine Unterstützungsstruktur über Dreh- Mitglieder angeschlossen wird. Die Dreh- Mitglieder stellen eine wieder.herstellenkraft zur Verfügung, um das betätigte Element planar zu halten zur Oberfläche eines zugrundeliegenden Substrates. Die Oberfläche des Substrates hat die Elektroden, die darauf gebildet werden. Die Elektroden werden angepaßt, um ein elektrisches Potential zu empfangen. Wenn ein elektrisches Potential an sicherem der Elektroden angewendet wird, wird eine elektrostatische Kraft erzeugt, die das betätigte Element veranläßt, sich aus Fläche heraus zu drehen. Die Elektroden haben drei Bestandteile. Mindestens ist ein Teil von zwei der Bestandteile innerhalb des kippenbereichs des betätigten Elements. Der Third ist Außenseite der kippenbereich des betätigten Elements. Der kippenbereich wird wie die Fläche des betätigten Elements definiert, wie auf das zugrundeliegende Substrat projiziert.