A ferroelectric capacitor has a top electrode, a bottom electrode, a
ferroelectric body disposed between the top and bottom electrodes, and a
dielectric lining disposed below the top electrode and above the bottom
electrode, protecting the sides of the ferroelectric body. The
ferroelectric body can be formed by chemical-mechanical polishing of a
ferroelectric film. In a memory device, the capacitor is coupled to a
transistor. The dielectric lining protects the ferroelectric body from
etching damage during the fabrication process, obviating the need for
repeated annealing to repair such damage, thereby avoiding the alteration
of transistor characteristics that would be caused by such annealing.
Un condensatore ferroelectric ha un elettrodo superiore, un elettrodo inferiore, un corpo ferroelectric disposto di fra gli elettrodi alti e bassi e un rivestimento dielettrico disposto di sotto l'elettrodo superiore e sopra l'elettrodo inferiore, proteggente i lati del corpo ferroelectric. Il corpo ferroelectric può essere costituito dalla lucidatura prodotto-meccanica di una pellicola ferroelectric. In un dispositivo di memoria, il condensatore è accoppiato ad un transistore. Il rivestimento dielettrico protegge il corpo ferroelectric da danni acquaforte durante il processo di montaggio, prevenente la necessità per la ricottura ripetuta di riparare tali danni, quindi evitante l'alterazione delle caratteristiche del transistore che sarebbero causate tramite tale ricottura.