The invention includes a method of forming an assembly of a physical vapor deposition target and support. A physical vapor deposition target is provided. The physical vapor deposition target has a coefficient of thermal expansion of less than 10.times.10.sup.-6 K.sup.-1. The physical vapor deposition target is joined to a support. The support comprises a thermal coefficient of expansion of less than 11.times.10.sup.-6 K.sup.-1. The invention also includes an assembly comprising a physical vapor deposition target and a support joined to the physical vapor deposition target. The support comprises carbon fibers and copper.

L'invenzione include un metodo di formare un montaggio di un obiettivo e di un supporto fisici di deposito del vapore. Un obiettivo fisico di deposito del vapore è fornito. L'obiettivo fisico di deposito del vapore ha un coefficente di espansione termica di di meno che 10.times.10.sup.-6 K.sup.-1. L'obiettivo fisico di deposito del vapore si unisce ad un supporto. Il supporto contiene un coefficente espansione termico di di meno che 11.times.10.sup.-6 K.sup.-1. L'invenzione inoltre include un complessivo che contiene un obiettivo fisico di deposito del vapore e un supporto uniti all'obiettivo fisico di deposito del vapore. Il supporto contiene le fibre ed il rame del carbonio.