A structure and method for producing color filters with a protective
silation layer is described. In one embodiment, each filter is coated with
a silation layer to prevent bleeding of material between closely spaced
filters during the fabrication process. In a second embodiment, the
silation layer is used to protect an array of filters from physical damage
during detaping operations. In a third embodiment, the silation layer is
used before fabrication later filters in a color filter array to prevent
damage to previous filter layers.
Une structure et une méthode pour produire des filtres de couleur avec une couche protectrice de silation est décrite. Dans une incorporation, chaque filtre est enduit d'une couche de silation pour empêcher le saignement du matériel entre les filtres étroitement espacés pendant le processus de fabrication. Dans une deuxième incorporation, la couche de silation est employée pour protéger une rangée de filtres contre des dommages physiques pendant des opérations detaping. Dans une troisième incorporation, la couche de silation est employée avant que la fabrication filtre plus tard dans une rangée de filtre de couleur pour empêcher des dommages aux sous-couches filtrantes précédentes.