The robot includes a substantially vertical linear track and a bearing configured to translate along the linear track. Also included is an elongate arm having opposing first and second ends. The elongate arm is rotatably coupled to the bearing near the first end. A platform, configured to receive a wafer handling robot, is rotatably coupled to the elongate arm near the second end of the elongate arm. A linear drive, configured to translate the bearing along the linear track, is coupled to the bearing.

Le robot inclut une voie linéaire essentiellement verticale et un roulement configurés pour traduire le long de la voie linéaire. En outre inclus est un bras allongé ayant l'opposition d'abord et les deuxièmes extrémités. Le bras allongé est rotativement couplé au roulement près de la première extrémité. Une plateforme, configurée pour recevoir une gaufrette manipulant le robot, est rotativement couplée au bras allongé près de la deuxième extrémité du bras allongé. Une commande linéaire, configurée pour traduire le roulement le long de la voie linéaire, est couplée au roulement.