Processes and systems to recover at least one perfluorocompound gas from a gas mixture are provided. In one embodiment the inventive process comprises the steps of a) providing a gas mixture comprising at least one perfluorocompound gas and at least one carrier gas, the gas mixture being at a predetermined pressure; b) providing at least one glassy polymer membrane having a feed side and a permeate side; c) contacting the feed side of the at least one membrane with the gas mixture; d) withdrawing from the feed side of the membrane as a non-permeate stream at a pressure which is substantially equal to the predetermined pressure a concentrated gas mixture comprising essentially the at least one perfluorocompound gas; and e) withdrawing from the permeate side of the membrane as a permeate stream a depleted gas mixture comprising essentially the at least one carrier gas.

De processen en de systemen worden om minstens één perfluorocompoundgas van een gasmengsel terug te krijgen verstrekt. In één belichaming bestaat het vindingrijke proces uit de stappen van a) verstrekkend een gasmengsel bestaand minstens uit één perfluorocompoundgas en minstens één draaggas, het gasmengsel die bij een vooraf bepaalde druk zijn; b) verstrekkend minstens één glazig polymeermembraan dat een voerkant en een doordringende kant heeft; c) het contacteren van de voerkant van het minstens één membraan met het gasmengsel; d) zich terugtrekt van de voerkant van het membraan als niet doordringende stroom bij een druk die aan de vooraf bepaalde druk een geconcentreerd gasmengsel hoofdzakelijk bestaand uit het minstens één perfluorocompoundgas wezenlijk gelijk is; en e) terugtrekt van de doordringende kant van het membraan als doordringende stroom een uitgeput gasmengsel hoofdzakelijk bestaand uit het minstens één draaggas.