The present invention provides a scanning electron microscope (SEM) or
optical inspection method and apparatus which correct differences in
brightness between comparison images and thus which is capable of
detecting a fine defect with a high degree of reliability without causing
any false defect detection. According to the present invention, the
brightness values of a pattern, which should be essentially the same,
contained in two detected images to be compared are corrected in such a
manner that, even if there may be a brightness difference in a portion
free from defects, the brightness difference is reduced to such a degree
so that it can be recognized as a normal portion. Also, a limit for the
amount of correction is furnished in advance, and correction exceeding
such limit value is not performed. Such correction prevents the difference
in brightness that should be permitted as non-defective from being falsely
recognized as a defect without overlooking great differences in brightness
due to a defect.
Die anwesende Erfindung liefert ein Rasterelektronenmikroskop (SEM) oder optische Kontrolle Methode und Apparat, der korrekte Unterschiede bezüglich der Helligkeit zwischen Vergleich Bildern und folglich, die zum Ermitteln eines feinen Defektes mit einem hohen Grad Zuverlässigkeit fähig ist, ohne irgendeine falsche Defektabfragung zu verursachen. Entsprechend der anwesenden Erfindung enthielten die Helligkeit Werte eines Musters, das dasselbe im Wesentlichen sein sollte, in zwei ermittelten die verglichen zu werden Bilder, werden behoben, derart daß, selbst wenn es einen Helligkeit Unterschied bezüglich eines Teils von den Defekten frei geben kann, der Helligkeit Unterschied auf solch einem Grad verringert wird, damit es als normaler Teil erkannt werden kann. Auch eine Begrenzung für die Menge der Korrektur wird im voraus versorgt, und die Korrektur, die solchen Begrenzung Wert übersteigt, wird nicht durchgeführt. Solche Korrektur verhindert den Unterschied bezüglich der Helligkeit, die von falsch erkannt werden als Defekt die Erlaubnis gehabtes so nicht-defektes sein sollte, ohne große Unterschiede bezüglich der Helligkeit zu übersehen wegen eines Defektes.
