Proposed is a method for fabricating a planar optical waveguide device having a plurality of core segments formed between a lower clad layer and an upper clad layer, in which a hot isostatic pressing process (HIP) is carried out during the fabrication process. The lower clad layer may consist of a substrate or a buffer layer formed on a substrate. Each layer may be formed either by a low-temperature film-forming process such as CVD or by the flame hydrolysis pressing process. The HIP process is also effective in eliminating voids when the core is formed in a recess of the lower clad layer. According to the tests conducted by the inventors, it was found that the HIP process can be conducted without requiring any protective layer or a gas barrier through proper selection of the condition for the HIP process, as opposed to the common belief that a protective layer or a gas barrier is essential for the HIP process.

Voorgesteld wordt een methode om een vlak optisch golfgeleiderapparaat te vervaardigen dat een meerderheid van kernsegmenten heeft die tussen een lagere beklede laag en een hogere beklede laag worden gevormd, waarin een heet isostatic dringend proces (HEUP) tijdens het vervaardigingsproces wordt uitgevoerd. De lagere beklede laag kan uit een substraat of een bufferlaag bestaan die op een substraat wordt gevormd. Elke laag kan of door een film-forming proces bij lage temperatuur zoals CVD of door het dringende proces van de vlamhydrolyse worden gevormd. Het proces van de HEUP is ook efficiënt in het elimineren van leegten wanneer de kern in een reces van de lagere beklede laag wordt gevormd. Volgens de tests die door de uitvinders worden uitgevoerd, vond men dat het proces van de HEUP kan worden geleid zonder enige beschermende laag of een gasbarrière door juiste selectie van de voorwaarde voor het proces van de HEUP, in tegenstelling tot de gemeenschappelijke overtuiging dat te vereisen een beschermende laag of een gasbarrière voor het proces van de HEUP essentieel zijn.