The present invention provides a device for in-situ measurement and
recording of various environmental parameters in a semiconductor
fabrication process. The device includes sensors for detecting the
parameters and converting them to sensor outputs, a data logger coupled to
the sensors for receiving the sensor outputs and logging them in a file.
The device also includes an analog to digital converter to convert the
sensor outputs to digital data and a communication module to communicate
the digital data with other devices. When applied to reticles used in a
semiconductor fabrication process comprising a plurality of stages, the
device may be used to monitor electrostatic field and electrostatic
discharge activities on and around the reticle, convert the monitored
parameters into data, and log the data along with a timestamp and an
identification of each individual stage. Logged data can be retrieved and
analyzed to determine the time and location of detrimental activities such
as electrostatic discharge on reticles.
La actual invención proporciona un dispositivo para la medida y la grabación "in-situ" de varios parámetros ambientales en un proceso de la fabricación del semiconductor. El dispositivo incluye los sensores para detectar los parámetros y convertirlos a las salidas del sensor, un maderero de datos juntado a los sensores para recibir las salidas del sensor y registrarlas en un archivo. El dispositivo también incluye convertidor a digital análogo para convertir las salidas del sensor a datos digitales y a un módulo de la comunicación para comunicar los datos digitales con otros dispositivos. Cuando está aplicado a los retículos usados en un proceso de la fabricación del semiconductor que abarca una pluralidad de etapas, el dispositivo se puede utilizar para supervisar el campo electrostático y actividades electrostáticas de la descarga en y alrededor del retículo, convierte los parámetros supervisados en datos, y registra los datos junto con un timestamp y una identificación de cada etapa individual. Los datos registrados se pueden recuperar y analizar para determinar la época y la localización de actividades perjudiciales tales como descarga electrostática en los retículos.
