A capacitor over plug (COP) structure is disclosed. The COP avoids the step
which is created in conventional COP structures, which adversely impacts
the properties of the capacitor. In one embodiment, the step is avoided by
providing a plug having upper and lower portions. The upper portion, which
is coupled to the bottom electrode of the capacitor, has substantially the
same surface area as the bottom electrode. A barrier layer can be provided
between the plug and bottom electrode to avoid oxidation of the plug
material.
Eine Struktur des Kondensatorübersteckers (SPINDEL) wird freigegeben. Die SPINDEL vermeidet den Schritt, der in den herkömmlichen SPINDEL-Strukturen verursacht wird, das nachteilig die Eigenschaften des Kondensators auswirkt. In einer Verkörperung wird der Schritt vermieden, indem man einen Stecker zur Verfügung stellt, der die oberen und untereren Teile hat. Der obere Teil, der zur Grundelektrode des Kondensators verbunden wird, hat im wesentlichen die gleiche Fläche wie die Grundelektrode. Eine Grenzschicht kann zwischen dem Stecker und der Grundelektrode zur Verfügung gestellt werden, um Oxidation des Steckermaterials zu vermeiden.