Microscopic batteries, integratable or integrated with microelectromechanical systems or other microscopic circuits, including a MEMS microcircuit, and methods of microfabrication of such microscopic batteries are disclosed, among which comprise closed system microscopic batteries for internal storage of electricity using interval reactants only, which comprise microscopic electrodes, electrolyte and reservoir for the electrolyte.

Mikroskopische Batterien, integratable oder integriert mit microelectromechanical Systemen oder anderen mikroskopischen Stromkreisen, einschließlich eine MEMS Mikroschaltung und Methoden von microfabrication solcher mikroskopischer Batterien werden freigegeben, unter denen geschlossenes System mikroskopische Batterien für interne Ablage von Elektrizität mit nur Abstand Reaktionsmitteln enthalten Sie, die mikroskopische Elektroden, Elektrolyt und Vorratsbehälter für den Elektrolyt enthalten.