The present invention relates to a method for compensating the impact of at least one defective pixel with a known position in a spatial light modulator (SLM) when creating a pattern of the SLM on a work piece covered with a layer sensitive to electromagnetic radiation. A source for emitting electromagnetic radiation is provided. Said radiation is illuminating said SLM having a plurality of modulating elements (pixels). In a writing pass an image of said modulator is projected on said work piece. A compensation for defective pixels in at least one other writing pass is performed. The invention also relates to an apparatus for performing said method.

Присытствыющий вымысел относит к методу для компенсировать удар по крайней мере одного неполноценного пиксела с знанным положением в spatial светлом модуляторе/демодулятор (slm) создавая картину slm на части работы предусматриванной с слоем чувствительным к электромагнитному излучению. Источник для испускать электромагнитное излучение обеспечен. Сказанная радиация освещает сказанный slm имея множественность модулируя элементов (пикселов). В пропуске сочинительства изображение сказанного модулятора/демодулятор запроектировано на сказанной части работы. Выполнена компенсация для неполноценных пикселов в по крайней мере одном другом пропуске сочинительства. Вымысел также относит к прибору для выполнять сказанный метод.