A remote diagnostic system for semiconductor manufacturing equipment which diagnoses user's semiconductor manufacturing equipment connected to a piece of diagnostic equipment which is provided by a third party through a communication network. The diagnostic equipment having at least one diagnostic program which diagnoses said semiconductor manufacturing equipment and a control section which starts the diagnostic program when accessed by a specific user terminal which has been given an access right, and the terminal sends data which is requested by the diagnostic equipment for diagnosis and receives a result of diagnosis from the diagnostic equipment.

Een ver kenmerkend systeem voor halfgeleider productiemateriaal wat de halfgeleider van de gebruiker productiemateriaal diagnostiseren verbond met een stuk van kenmerkend materiaal dat door een derde door een communicatienetwerk wordt verstrekt. Het kenmerkende materiaal dat minstens één kenmerkend programma heeft wat bovengenoemd halfgeleider productiemateriaal en een controlesectie diagnostiseren die het kenmerkende programma wanneer betreden door een specifieke gebruikersterminal begint die een toegangsrecht is gegeven, en de terminal verzendt gegeven dat door het kenmerkende materiaal voor diagnose wordt gevraagd en een resultaat van diagnose van het kenmerkende materiaal ontvangt.