An optically made, high-efficiency in-line holographic mask (ILHM) for
in-line holographic patterning of a workpiece, and apparatus and methods
for performing same. The ILHM combines the imaging function of a lens with
the transmission properties of a standard amplitude mask, obviating the
need for expensive projection optics. The ILHM is either a type I
(non-opaque) or type II (opaque) specialized object mask having one or
more substantially transparent elements which can be phase-altering,
scattering, refracting and/or diffracting. A method of creating a pattern
on a workpiece includes the steps of disposing an ILHM, disposing a
workpiece adjacent the ILHM and illuminating the ILHM to impart a pattern
to the workpiece. In another method, the ILHM is used in combination with
a lens. The ILHM is disposed such that a holographic real image is formed
at or near the lens object plane, and the workpiece is disposed at or near
the lens image plane. Apparatus for patterning a workpiece using an ILHM
are also disclosed.
Un masque olographe intégré (ILHM) pour modeler olographe intégré d'un objet, et un matériel et des méthodes optiquement faits et à haute efficacité pour exécuter mêmes. L'ILHM combine la fonction de formation image d'un objectif avec les propriétés de transmission d'un masque standard d'amplitude, obviant au besoin de systeme optique cher de projection. L'ILHM est un type I (non-opaque) ou type masque spécialisé (opaque) d'objet de II ayant un ou plusieurs éléments essentiellement transparents qui peuvent être phase-changeants, dispersants, réfractants et/ou se diffractants. Une méthode de créer un modèle sur un objet inclut les étapes de disposer un ILHM, disposant un objet adjacent l'ILHM et illuminant l'ILHM pour donner un modèle à l'objet. Dans une autre méthode, l'ILHM est employé en combination avec un objectif. L'ILHM est disposé tels qu'une vraie image olographe est formée ou près derrière l'avion d'objet d'objectif, et l'objet est disposé ou près derrière l'avion d'image d'objectif. Des appareils pour modeler un objet employant un ILHM sont également révélés.
