The present invention provides a laser processing and autofocusing system
that measures the position of the work-piece at the machining spot, to
allow the laser processing of work-pieces which are not flat and have
surface variations, with the autofocusing system being able to compensate
for these variations. During laser machining, it is desirable to keep the
laser focus at the same height with respect to the surface of the sample
for the best possible machining quality. Not all samples are flat, though,
and it thus becomes necessary to map the surface of the sample accurately
and to correct the focusing of the laser beam on the fly. The system
includes a processing laser beam directed onto the surface at normal
incidence and a light line projected onto the surface in the vicinity of
the area being machined but at an angle with respect to the surface
normal. The focusing optics for the machining laser and light line
generator are fixed relative to each other on a positioning stage. If the
work-piece surface deflects up or down, the light line moves
correspondingly in the horizontal plane with respect to the laser focal
spot. This change is monitored on the imaging system and the change of
position is used to drive a controller. A proportional voltage set-point
is produced by the electronics for feedback to the controller which uses
this voltage reference to move the positioning stage to correct
accordingly so the focal point of the processing laser beam is once again
positioned at the surface of the work-piece.
De onderhavige uitvinding verstrekt een laser verwerking en het autofocusing systeem dat de positie van het werkstuk bij de het machinaal bewerken vlek meet, om de laserverwerking van werkstukken toe te staan die niet vlak zijn en oppervlaktevariaties hebben, met het autofocusing systeem kunnend deze variaties compenseren. Tijdens laser die machinaal bewerkt, is het wenselijk om de lasernadruk bij de zelfde hoogte met betrekking tot de oppervlakte van de steekproef voor de beste mogelijke het machinaal bewerken kwaliteit te houden. Niet zijn alle steekproeven vlak, niettemin, en het zo wordt noodzakelijk om de oppervlakte van de steekproef nauwkeurig in kaart te brengen en het concentreren te verbeteren zich van de laserstraal op de vlieg. Het systeem omvat een verwerkingslaserstraal die op de oppervlakte bij normale weerslag en een lichte lijn wordt geleid die die op de oppervlakte in de buurt van het gebied wordt ontworpen maar bij een hoek met betrekking tot de normale oppervlakte machinaal wordt bewerkt. De concentrerende optica voor de het machinaal bewerken laser en de lichte lijngenerator worden bevestigd met betrekking tot elkaar op een plaatsend stadium. Als de werkstukoppervlakte naar boven of naar onder doet afwijken, beweegt de lichte lijn zich navenant in het horizontale vliegtuig met betrekking tot de laser brandpuntsvlek. Deze verandering wordt gecontroleerd op het weergavesysteem en de verandering van positie wordt gebruikt om een controlemechanisme te drijven. Een evenredig voltage reeks-punt wordt veroorzaakt door de elektronika voor terugkoppeling aan het controlemechanisme die deze voltageverwijzing gebruikt om het plaatsende stadium te bewegen dienovereenkomstig te verbeteren zodat het steunpunt van de verwerkingslaserstraal nogmaals wordt geplaatst aan de oppervlakte van het werkstuk.