In an electric contact probe unit using a perforated plate member as a holder member, the holder member is made of material having a low coefficient of thermal expansion so that, even when used in a high temperature environment, the thermal expansion of the holder member can be minimized so that the positional accuracy of the electric contact probe units can be ensured without creating cumulative errors between those located remote from each other. When the holder member consists of a plurality of laminated thin plate members, because the perforation of thin plate members can be accomplished by etching, the production process is suited for mass production. By forming electrically insulating film on the inner circumferential surface of the holder hole, it becomes possible to form the holder member from materials which have a low coefficient of thermal expansion but are electroconductive, thereby expanding the range of material selection.

In un'unità elettrica della sonda di contatto usando un membro perforato della piastra come membro del supporto, il membro del supporto è fatto di materiale che ha un coefficente basso di espansione termica in moda da, anche quando usato in un ambiente a temperatura elevata, potere minimizzare l'espansione termica del membro del supporto in moda da potere accertarsi l'esattezza posizionale delle unità elettriche della sonda di contatto senza generare gli errori cumulativi fra quelle gli abbia individuato la ripresa esterna. Quando il membro del supporto consiste di una pluralità di membri sottili laminati della piastra, perché la perforazione dei membri sottili della piastra può essere compiuta incidendo, il processo di produzione è adatto per fabbricazione in serie. Formando la pellicola elettricamente isolante sulla superficie della circonferenza interna del foro del supporto, diventa possibile formare il membro del supporto dai materiali che hanno un coefficente basso di espansione termica ma è elettroconduttore, quindi espandendo la gamma di selezione materiale.